[发明专利]一种铁酸铋纳米线太阳能电池的制备方法

摘要

本发明属于半导体材料技术领域，具体涉及一种BiFeO3纳米线太阳能电池的制备方法。利用BiFeO3纳米线结构降低其光学带隙，并提高其对太阳光的吸收，利用Ag纳米线和ITO上电极提高载流子的收集能力，从而达到提高BiFeO3纳米线太阳能电池光电转换效率的目的。

主权项

一种铁酸铋纳米线太阳能电池的制备方法，包括制备双通的多孔氧化铝模板的步骤、在多孔氧化铝模板中填充Ag纳米线的步骤和制备ITO上电极的步骤，其特征在于：在多孔氧化铝模板中填充Ag纳米线的步骤和制备ITO上电极的步骤之间进行利用磁控溅射方法在Ag纳米线上包覆一层BiFeO3的步骤，具体的工艺条件为：溅射功率为50‑90 W，沉积温度为20－300 0C，Ar：O2的流量比1:15‑11:1，腔体压力为0.01‑1 Pa，BiFeO3壳层厚度为20‑200 nm。