[发明专利]化学沉积温控系统及其温度调节方法有效
| 申请号： | 201210250417.4 | 申请日： | 2012-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN102778150A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 冉彦祥;赵喜华;蔡志浩 | 申请（专利权）人： | 梅州市志浩电子科技有限公司;东莞市威力固电路板设备有限公司 |
| 主分类号： | F28D7/08 | 分类号： | F28D7/08;F28F21/06;F28F27/00;C23C18/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 514071 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种化学沉积温控系统。所述化学沉积温控系统包括具收容空间的套管、温度调节液体、热交换器及控制阀，所述热交换器设置在所述套管内，所述温度调节液体收容在所述套管的收容空间内，所述控制阀调节所述温度调节液体在所述套管内循环，所述镀液于所述热交换器内流动，并与所述温度调节液体之间通过所述热交换器实现热交换。本发明的化学沉积温控系统有效调整镀液温度，精确控制镀液的温度在设定范围内，方便作业。同时，本发明还提供上述化学沉积温控系统内镀液的温度调节方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 温控 系统 及其 温度 调节 方法 | ||
【主权项】：
一种化学沉积温控系统，其包括：具收容空间的套管；温度调节液体；热交换器；及控制阀，所述热交换器设置在所述套管内，其特征在于：所述温度调节液体收容在所述套管的收容空间内，所述控制阀调节所述温度调节液体在所述套管内循环，所述镀液于所述热交换器内流动，并与所述温度调节液体之间通过所述热交换器实现热交换。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于梅州市志浩电子科技有限公司;东莞市威力固电路板设备有限公司，未经梅州市志浩电子科技有限公司;东莞市威力固电路板设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210250417.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：网络化水泥生产管理控制专家系统
- 下一篇：一种码流剪辑的方法及系统
