[发明专利]一种高温固化炉

摘要

本发明公开了一种高温固化炉，包括加热腔、加热器、以及温度监控系统；加热器包括多个可单独控制的加热模块，温度监控系统包括：监测加热腔内部环境温度信息的热电偶；监测加热腔内每一层基板表面的温度信息并生成温度信号的红外监测装置；信号连接热电偶和红外监测装置，根据热电偶反馈的温度信息和红外监测装置反馈的温度信号判断出存在温度异常的基板时，生成相应执行指令的信号处理模块；信号连接信号处理模块，根据信号处理模块生成的执行指令调节与存在温度异常的基板对应的加热模块加热功率的执行模块。该高温固化炉通过热电偶以及红外监测装置分别对加热腔的环境温度以及基板表面温度进行监测，提高了对固化温度监测的精度。

主权项

一种高温固化炉，包括加热腔、加热器、以及对所述加热腔内部固化温度进行监控的温度监控系统；其特征在于，所述加热器包括多个可单独控制的加热模块，所述温度监控系统包括：监测所述加热腔内部环境温度信息的至少一个热电偶；监测所述加热腔内每一层基板表面的温度信息、根据所述基板表面的温度信息可生成温度信号的红外监测装置；信号连接所述热电偶和所述红外监测装置，根据所述热电偶反馈的温度信息和所述红外监测装置反馈的温度信号判断出存在固化温度过高点，和/或，过低点温度异常的基板时，生成相应执行指令的信号处理模块；信号连接所述信号处理模块，并根据所述信号处理模块生成的执行指令调节所述加热器中与存在温度异常的所述基板对应的所述加热模块加热功率的执行模块。