[发明专利]一种具有大伸长量的刚性直簧移相器

摘要

本发明涉及一种具有大伸长量的刚性直簧移相器，包括主底板、侧边锁紧装置、PZT固定装置和PZT元件，侧边锁紧装置位于主底板的两侧，PZT固定装置位于主底板的中间下方，并与PZT元件直接接触，两者成前后关系，其特征在于：其中主底板由弹簧结构、正向沉孔、反向沉孔以及位于中心位置的空腔组成；移相器通过正向沉孔固定在使用平台上，并通过反向沉孔与被移动器件固定，PZT元件通过PZT固定装置固定在空腔内；该移相器仅使用单PZT，以及结构简单的移相器机械装置（两组刚性直弹簧）就可实现准确、高灵敏度的大行程移相。

主权项

一种具有大伸长量的刚性直簧移相器，包括主底板[1]、侧边锁紧装置[2]、PZT固定装置[3]和PZT元件[4]，侧边锁紧装置[2]位于主底板的两侧，PZT固定装置位于主底板[1]的中间下方，并与PZT元件[4]直接接触，两者成前后关系，其特征在于：其中主底板[1]由弹簧结构[1‑1]、正向沉孔[1‑2]、反向沉孔[1‑3]以及位于中心位置的空腔[1‑4]组成；移相器通过正向沉孔[1‑2]固定在使用平台上，并通过反向沉孔[1‑3]与被移动器件固定，PZT元件[4]通过PZT固定装置[3]固定在空腔[1‑4]内；该移相器仅使用单PZT，力传递装置是两组刚性直弹簧结构[1‑1]。