[发明专利]一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201210244704.4 | 申请日： | 2012-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102758200A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 姜校顺;范会博;肖敏 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，包括以下步骤：a、按质量比2.12：0.75：0.43：1称取乙醇、去离子水、甲酰胺和正硅酸四乙酯，将上述组分混合均匀；b、将步骤a中得到的溶液的pH调为1~2；c、将步骤b中得到的溶液在50℃温度下搅拌1.5小时；d、准备衬底，所述衬底上设置有二氧化硅层，将步骤c得到的溶液涂覆在所述衬底上得到薄膜；e、将带有薄膜的衬底进行干燥；f、将步骤e得到的衬底放于高温炉中，升温至1000℃退火3小时，得到溶胶凝胶二氧化硅薄膜。本发明的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法简单，对设备要求低，通过本方法制备的二氧化硅薄膜不开裂、结构致密、成品率显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溶胶 凝胶 二氧化硅 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a、按质量比2.12：0.75：0.43：1称取乙醇、去离子水、甲酰胺和正硅酸四乙酯，将上述组分混合均匀；b、将步骤a中得到的溶液的pH调为1~2；c、将步骤d中得到的溶液在50℃温度下搅拌1.5小时；d、准备衬底，所述衬底上设置有二氧化硅层，将步骤c得到的溶液涂覆在所述衬底上得到薄膜；e、将带有薄膜的衬底进行干燥；f、将步骤e得到的衬底放于高温炉中，升温至1000℃退火3小时，得到溶胶凝胶二氧化硅薄膜。
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