[发明专利]一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201210244704.4 | 申请日： | 2012-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102758200A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 姜校顺;范会博;肖敏 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 溶胶 凝胶 二氧化硅 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
a、按质量比2.12：0.75：0.43：1称取乙醇、去离子水、甲酰胺和正硅酸四乙酯，将上述组分混合均匀；
b、将步骤a中得到的溶液的pH调为1~2；
c、将步骤d中得到的溶液在50℃温度下搅拌1.5小时；
d、准备衬底，所述衬底上设置有二氧化硅层，将步骤c得到的溶液涂覆在所述衬底上得到薄膜；
e、将带有薄膜的衬底进行干燥；
f、将步骤e得到的衬底放于高温炉中，升温至1000℃退火3小时，得到溶胶凝胶二氧化硅薄膜。
2.如权利要求1中所述的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，步骤b中，在步骤a中得到的混合溶液中加入盐酸，将其pH值调为1~2。
3.如权利要求1中所述的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，步骤d中薄膜通过旋涂法得到。
4.如权利要求1中所述的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，步骤d中所述二氧化硅层的厚度为大于等于20nm。
5.如权利要求1中所述的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，步骤f中所述升温至1000℃退火3小时的具体步骤为：
1）温度在室温到250℃之间时，升温速率为6分钟/℃；
2）温度在250℃到500℃之间时，升温速率为3分钟/℃；
3）温度在500℃时，保温1小时；
4）温度在500℃到1000℃之间时，升温速率为0.5分钟/℃；
5）温度在1000℃，保温3小时。
6.如权利要求1中所述的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，步骤d中衬底为硅衬底。
7.如权利要求1中所述的溶胶凝胶二氧化硅薄膜的制备方法，其特征在于，步骤a中的乙醇、去离子水、甲酰胺和正硅酸四乙酯分别为乙醇、去离子水、甲酰胺和正硅酸四乙酯的分析纯试剂。
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