[发明专利]一种基于电热驱动及齿轮传动的往复直线微马达

摘要

本发明涉及一种基于电热驱动及齿轮传动的往复直线微马达。它包括左侧和右侧两个驱动装置，一个传动装置。所述驱动装置利用V型电热致动器阵列控制啮合状态及推动齿轮。所述传动装置包括两对齿轮传动，齿轮浮动在Poly0上，作为可动件，放大输出位移。所述输出装置为齿条滑槽，可接微操作平台，具有往复大位移运动的功能。所述测试装置利用微弹簧和标尺测试输出力和输出位移等静态特性。因此，本发明设计的往复直线微马达，具有与集成电路制造工艺相兼容、输出位移大、实用性强，易于控制、输出效率高、可测试静态特性等优点。

主权项

一种基于电热驱动及齿轮传动的往复直线微马达，包括左侧和右侧两个驱动装置和一个传动装置，其特征在于：1）所述右侧驱动装置是两个水平并列的由六个V型电热硅微致动器并列而成的电热致动器阵列a(1a，1b)的中部与一个推杆齿a(3a)相连，而两端分别各连接一个负电极(5a，5b)和一个正电极(4a，4b)；一个与电热致动器阵列相垂直方向设置的由三个V型电热硅微致动器并列而成的啮合控制器a(2a)的两端分别连接一个正电极(6a)和一个负电极(6b)，而中部连接所述推杆齿a(3a)；2）所述左侧驱动装置与右侧驱动装置结构相同而对称设置：包括两个由六个V型电热硅微致动器并列而成的电热致动器阵列b(1c，1d)，一个啮合控制器b(2b)，两个电热致动器阵列a(1a，1b)与两个电热致动器阵列b(1c，1d)的一端共同连接一个负电极(5a，5b)，两个电热致动器b(1c，1d)的另一端分别各连接一个正电极(4c，4d)，啮合控制器b(2b)的两端分别各连接一个正电极(6c)和一个负电极(6d)，两个电热致动器阵列b(1c，1d)和啮合控制器b(2b)的中部连接一个推杆齿b(3b)；3）所述传动装置是：位置中央垂直方向设置一个固定的导块(12)，一个齿条滑槽(11)与该导块(12)滑配，两个左右大齿轮(9a，9b)分别置于齿条滑槽(11)的左右侧而齿条啮合，两个左右小齿轮(7a，7b)分别于左右大齿轮(9a，9b)啮合，两个左右小齿轮(7a，7b)所处位置能分别与推杆齿a(3a)和推杆齿b(3b)之间进行受控啮合与分离；所述两个大齿轮(9a，9b)和两个小齿轮(7a，7b)分别活动套装在固定的大齿轮轴(10b，10a)和小齿轮轴(8b，8a)上。