[发明专利]半球谐振式微机械陀螺仪及其加工工艺有效
| 申请号： | 201210231285.0 | 申请日： | 2012-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN103528576B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 郭述文 | 申请（专利权）人： | 北方电子研究院安徽有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691;G01C25/00;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 233000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半球谐振式微机械陀螺仪，其包括谐振层，谐振层包括半球球壳，半球球壳具有内凹的内表面及与内表面相对的外表面，半球球壳的顶点为其锚点，环绕半球球壳设置有多个硅球面电极，硅球面电极包括驱动电极、力平衡电极、信号检测电极、屏蔽电极，屏蔽电极将驱动电极、力平衡电极与信号检测电极分隔开，半球球壳与环绕其的多个硅球面电极形成多个电容；谐振层采用多晶硅或二氧化硅或氮化硅或金刚石材质。该半球谐振式微机械陀螺仪采用基于硅微细加工的工艺，其尺寸较小，生产成本较低，具有批量生产能力同时，其灵敏度不取决于其振幅，其驱动电压较低，可大大减小输出噪声，其精度可比现有的陀螺仪产品高。 | ||
| 搜索关键词： | 半球 谐振 式微 机械 陀螺仪 及其 加工 工艺 | ||
【主权项】：
一种半球谐振式微机械陀螺仪，其特征在于：其包括谐振层，所述的谐振层包括半球球壳、环绕所述的半球球壳设置的多个硅球面电极，所述的硅球面电极包括驱动电极、力平衡电极、信号检测电极、屏蔽电极，所述的屏蔽电极将所述的驱动电极、所述的力平衡电极与所述的信号检测电极分隔开，所述的屏蔽电极交汇于一点且该交汇点即为所述的半球球壳的锚点，所述的半球球壳与环绕其的多个所述的硅球面电极形成多个电容；所述的半球球壳采用多晶硅或二氧化硅或氮化硅或金刚石材质。
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