[发明专利]用于太阳能电池的背面点接触部制造的方法

摘要

本发明涉及一种用于在太阳能电池的背面电介质层中形成孔以制造背面点接触部的方法。所述背面电介质层覆盖有碳层。遮蔽掩模放置于所述碳层上并利用反应离子蚀刻(RIE)将所述遮蔽掩模中的孔转移到所述碳层中，从而形成一碳掩模。所述遮蔽掩模之后被去除并且利用RIE将所述碳层中的孔转移到所述电介质层中。所述碳掩模之后通过例如灰化方法去除。

主权项

一种用于在太阳能电池的背面电介质层中形成孔以制造背面点接触部的方法，包括：将在所述背面上具有电介质层的太阳能电池传送到真空处理系统中；在所述电介质层上沉积碳层；在所述碳层上机械放置遮蔽掩模，所述遮蔽掩模具有与所述背面点接触部对齐的多个孔；产生等离子体以穿过所述遮蔽掩模中的所述多个孔来蚀刻所述碳层；从所述太阳能电池机械去除所述遮蔽掩模；产生等离子体以穿过所述碳层来蚀刻所述电介质层；以及去除所述碳层。