[发明专利]角速度传感器

摘要

一种角速度传感器（100）包括振动器（51）、支承基板（10）、锚段（30）、连接梁段、驱动段以及检测段。振动器（51）包括内部振动器（56）和外部振动器（57），它们在由驱动段驱动时在相反的圆周方向上振动。连接梁段将振动器（51）结合至锚段（30），并且在z方向上和圆周方向上是弹性的。连接梁段包括第一连接梁（80）和第二连接梁（81），每个第一连接梁（80）在一端处结合至外部振动器（57）并且在另一端处结合至内部振动器（56），每个第二连接梁（81）在一端处结合至相应第一连接梁（80）的振动节点（P2）并且在另一端处结合至锚段。

主权项

一种角速度传感器（100），其包括：振动器（51），其布置于由相互垂直的x方向和y方向限定的x‑y平面上，振动器（51）包括在x‑y平面上具有环形平面形状的外部振动器（57）以及在x‑y平面上具有环形平面形状的内部振动器（56），内部振动器（56）布置于由外部振动器（57）的内表面（57a）包围的区域中；支承基板（10），其在垂直于x‑y平面的z方向上布置为远离所述振动器（51）；锚段（30），其从支承基板（10）延伸至所述振动器（51）布置于其上的x‑y平面；将所述振动器（51）结合至所述锚段（30）的连接梁段，连接梁段在z方向上具有弹性并且在绕着z方向的圆周方向上具有弹性；驱动段，其在圆周方向上振动所述振动器（51）；以及检测段，其检测所述振动器（51）在z方向上的位移，其中所述连接梁段包括多个第一连接梁（80）和多个第二连接梁（81），每个第一连接梁（80）在一端处结合至外部振动器（57）的内表面（57a）并且在另一端处结合至内部振动器（56）的外表面（56b），每个第二连接梁（81）在一端处结合至相应一个所述第一连接梁（80）并且在另一端处结合至所述锚段（30），其中所述驱动段在相反的圆周方向上振动内部振动器（56）和外部振动器（57）以执行耦合振动，并且其中每个第二连接梁（81）的所述一端结合至相应一个第一连接梁（80）的振动节点（P2），并且振动节点（P2）是在由内部振动器（56）和外部振动器（57）执行的所述耦合振动期间不振动的点。