[发明专利]角速度传感器

权利要求书

1.一种角速度传感器（100），其包括：

振动器（51），其布置于由相互垂直的x方向和y方向限定的x-y平面上，振动器（51）包括在x-y平面上具有环形平面形状的外部振动器（57）以及在x-y平面上具有环形平面形状的内部振动器（56），内部振动器（56）布置于由外部振动器（57）的内表面（57a）包围的区域中；

支承基板（10），其在垂直于x-y平面的z方向上布置为远离所述振动器（51）；

锚段（30），其从支承基板（10）延伸至所述振动器（51）布置于其上的x-y平面；

将所述振动器（51）结合至所述锚段（30）的连接梁段，连接梁段在z方向上具有弹性并且在绕着z方向的圆周方向上具有弹性；

驱动段，其在圆周方向上振动所述振动器（51）；以及

检测段，其检测所述振动器（51）在z方向上的位移，

其中所述连接梁段包括多个第一连接梁（80）和多个第二连接梁（81），每个第一连接梁（80）在一端处结合至外部振动器（57）的内表面（57a）并且在另一端处结合至内部振动器（56）的外表面（56b），每个第二连接梁（81）在一端处结合至相应一个所述第一连接梁（80）并且在另一端处结合至所述锚段（30），

其中所述驱动段在相反的圆周方向上振动内部振动器（56）和外部振动器（57）以执行耦合振动，并且

其中每个第二连接梁（81）的所述一端结合至相应一个第一连接梁（80）的振动节点（P2），并且振动节点（P2）是在由内部振动器（56）和外部振动器（57）执行的所述耦合振动期间不振动的点。

2.根据权利要求1的角速度传感器（100），其中

所述内部振动器（56）和外部振动器（57）同心地布置。

3.根据权利要求1的角速度传感器（100），其中

所述外部振动器（57）的内表面（57a）与内部振动器（56）的外表面（56b）之间的距离恒定，并且

其中所述内部振动器（56）经由第一连接梁（80）与外部振动器（57）相结合。

4.根据权利要求1的角速度传感器（100），

其中每个第一连接梁（80）沿着z方向具有两个侧面，并且

其中两个第二连接梁（81）分别结合至所述相应一个第一连接梁（80）的这两个侧面。

5.根据权利要求1至4的任何一个的角速度传感器（100），

其中每个第一连接梁（80）具有垂直于外部振动器（57）的内表面（57a）和内部振动器（56）的外表面（56b）的直的形状。

6.根据权利要求5的角速度传感器（100），

其中每个第二连接梁（81）包括：

第一子梁（82），其在x-y平面上具有矩形平坦形状并且纵向地平行于所述相应一个第一连接梁（80）；

第二子梁（83），其在x-y平面上具有矩形平坦形状并且纵向地平行于所述相应一个第一连接梁（80）；

刚性元件（84），其具有比第一子梁（82）和第二子梁（83）的刚性高的刚性；以及

第三子梁（85），其在x-y平面上具有矩形平坦形状并且纵向地垂直于所述相应一个第一连接梁（80），

其中所述刚性元件（84）包括竖直子元件（84a）、第一突出子元件（84b）以及两个第二突出子元件（84c），它们以如此的方式布置以使得所述竖直子元件纵向地平行于所述相应一个第一连接梁（80），所述第一突出子元件（84b）从竖直子元件（84a）的中心点在远离所述相应一个第一连接梁（80）的方向上突出，并且所述两个第二突出子元件（84c）分别从竖直子元件（84a）的两端在接近所述相应一个第一连接梁（80）的方向上突出，

其中第一子梁（82）的相应于每个第二连接梁（81）的所述另一端的两端结合至锚段（30），并且第一子梁（82）的中心点结合至第一突出子元件（84b），

其中第二子梁（83）分别在两端处结合至两个第二突出子元件（84c），并且

其中第三子梁（85）的一端结合至第二子梁（83）的中心点，并且第三子梁（85）的相应于每个第二连接梁（81）的所述一端的另一端结合至所述相应一个第一连接梁（80）的振动节点（P2）。