[发明专利]一种非晶硅平板X射线传感器的制作方法

摘要

本发明涉及传感器技术领域，提供一种非晶硅平板X射线传感器的制作方法，在制作一种非晶硅平板X射线传感器的过程中，减少了掩膜板使用的次数，简化了生产工序还节约了生产成本，在简化了生产工序的同时还能提高产品的良品率。该制作方法包括：在基板上形成栅极扫描线后，通过一次构图工艺形成数据线，TFT开关元件和光感应元件，其中，所述构图工艺中的掩膜板上与所述TFT开关元件的沟道对应的区域部分透光，与所述数据线、光感应元件，以及TFT开关元件中除沟道部分分别对应的区域不透光；在形成了TFT开关元件和光感应元件的基板上形成钝化层以及偏压线。

主权项

一种非晶硅平板X射线传感器的制作方法，其特征在于，该方法包括：在基板上形成包括栅电极和栅极扫描线的图形；在形成栅极线和栅极扫描线的基板上形成数据线、TFT开关元件和光感应元件；在形成了数据线、TFT开关元件和光感应元件的基板上形成钝化层以及偏压线。