[发明专利]基于微机械砷化镓基固支梁的相位检测器及检测方法

摘要

本发明公开了一种基于微机械砷化镓基固支梁的相位检测器及检测方法，该相位检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置；该方法包括如下步骤：在第一下拉电极（81）和第二下拉电极（82）加载直流偏置时，固支梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，待测微波信号同时加载到栅极（4）上，从而改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流大小；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现相位的测量。本发明体积较小，结构简单，易于测量。

主权项

一种基于微机械砷化镓基固支梁的相位检测器，其特征在于：该相位检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，在源极（2）和漏极（3）的外侧分别设有第一固支梁锚区（71），第二固支梁锚区（72），设置在源极（2）和漏极（3）之间的栅极（4），设置在在该栅极（4）上方且与栅极（4）相对的固支梁（6），固支梁（6）的两侧分别与第一固支梁锚区（71），第二固支梁锚区（72）相连； 在栅极（5）与第一固定梁锚区（71）之间设有第一下拉电极（81），在栅极（5）与第二固定梁锚区（72）之间设有第二下拉电极（82），第一下拉电极（81）和第二下拉电极（82）分别被绝缘介质层（9）覆盖；源极（2）接地，漏极（3）接正电压；源极（2）和漏极（3）之间通过N型沟道（5）连通，电流方向由漏极（3）到源极（2）；源极（2）和漏极（3）由金和N型重掺杂区形成欧姆接触区构成；栅极（4）由金与N型薄层形成的肖特基接触区构成，栅极（4）接负电压，其用于调整N型沟道（5）耗尽层的宽度，改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流的大小；第一待测输入信号输入第一固支梁锚区（71）和第二固支梁锚区（72），第二待测输入信号输入栅极（4）。