[发明专利]利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法无效
| 申请号： | 201210204173.6 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102691093A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 韩晓军;毕洪梅;王磊;刘丹青 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C25F3/12 | 分类号： | C25F3/12;C25F3/14;G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，属于电化学领域和微纳米技术领域。针对现有腐蚀ITO方法存在的问题，本发明利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法如下：1）ITO表面清洗；2）通过塑封机将所用光刻胶在ITO基底上压成保护膜，直接放置所用图案的掩膜，经过紫外曝光显影，定型洗涤后形成所需图案；3）利用电化学技术，以稀盐酸为腐蚀液，采用循环伏安法或计时电流法对ITO表面进行光刻胶外裸露ITO部分的腐蚀；4）经电化学腐蚀后的ITO玻璃片经碱溶液洗涤，除去保护的光刻胶膜，N2吹干，得到图案化的ITO表面。本发明具有操作简单、快速、腐蚀效果好、边界清晰、成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 电化学 技术 实现 氧化 表面 快速 腐蚀 图案 方法 | ||
【主权项】：
利用电化学技术实现氧化铟锡表面快速腐蚀和图案化的方法，其特征在于所述方法如下：（1）ITO表面清洗：ITO玻璃片经乙醇和蒸馏水分别超声清洗后氮气吹干，经等离子清洗机处理待用；（2）通过塑封机将所用光刻胶在ITO基底上压成保护膜，直接放置所用图案的掩膜，经过紫外曝光显影，定型洗涤后形成所需图案； （3）利用电化学技术，以稀盐酸为腐蚀液，采用循环伏安法或计时电流法对ITO表面进行光刻胶外裸露ITO部分的腐蚀；（4）经电化学腐蚀后的ITO玻璃片经碱溶液洗涤，除去保护的光刻胶膜，N2吹干，得到图案化的ITO表面。
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