[发明专利]基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201210202357.9 | 申请日： | 2012-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN102749479A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杨波;王寿荣;赵辉 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且与第一外部质量块（101）相连的第二外部质量块（102）、设置在第二外部质量块（102）内部且与第二外部质量块（102）相连的第二平面谐振器（103b）；本发明结构简单、与平面工艺兼容，避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点，同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响，同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 刚度 效应 垂直 轴硅微 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，其特征在于：该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且与第一外部质量块（101）相连的第二外部质量块（102）、设置在第二外部质量块（102）内部且与第二外部质量块（102）相连的第二平面谐振器（103b）；该加速度计还包括设置在第一质量块（101）和第二质量块（102）外表面且分别与第一质量块（101）和第二质量块（102）连接的上扭杆（105a）和下扭杆（105b），上扭杆（105a）和下扭杆（105b）相对设置；还包括与上扭杆（105a）连接的第一锚点（104a）和与下扭杆（105b）连接的第二锚点（104b）；第一外部质量块(101）和第二外部质量块（102）外部分别通过上扭杆（105a）、下扭杆（105b）与第一锚点（104a）、第二锚点（104b）连接,使该加速度计悬置在玻璃基座（200）之上；第一质量块（101）和第二质量块（102）质量不等。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210202357.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于随机游走的服务和标签推荐方法
- 下一篇：太阳能热水器保温水箱内胆支架
