[发明专利]抗腐蚀涂层的制作方法、抗腐蚀涂层、等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201210195700.1 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103484809A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 康明阳 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C4/10 | 分类号： | C23C4/10 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗腐蚀涂层的制作方法、抗腐蚀涂层、等离子体加工设备，其中，抗腐蚀涂层的制作方法包括以下步骤：将氧化钇粉体和氧化铝粉体按照重量比1∶1的比例球磨混合均匀获得复合粉体；将所述复合粉体涂覆在所述金属部件的表面，从而在所述金属部件的表面获得抗腐蚀的复合涂层。该抗腐蚀涂层的制作方法可以获得孔隙率较低的抗腐蚀涂层，从而可以提高涂层的抗等离子体腐蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 涂层 制作方法 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种抗腐蚀涂层的制作方法，用于在金属部件的表面上制备抗腐蚀涂层，其特征在于，包括以下步骤：将氧化钇粉体和氧化铝粉体按照重量比1∶1的比例球磨混合均匀获得复合粉体；将所述复合粉体涂覆在所述金属部件的表面，从而在所述金属部件的表面获得抗腐蚀的复合涂层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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