[发明专利]XY两坐标气浮定位平台有效
| 申请号： | 201210194434.0 | 申请日： | 2012-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN102723303A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 洪荣晶;钟黔;方成刚 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学;南京工大数控科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 210009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4）。本发明特点是启用气浮支撑形式，平台相对运动部分用一定刚度的气膜隔开，系统无摩擦，采用直线电机驱动的方式，避免高速运动下，质心偏转导致传动副精度降低的问题，提高平台定位精度、速度和加速度，满足工业要求。 | ||
| 搜索关键词： | xy 坐标 定位 平台 | ||
【主权项】：
一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4），Y轴基座（6）上通过螺栓固定连接的方式安装Y轴导向导轨（8）和Y轴直线电机定子（7），X轴滑台（5）包括X轴电机动子（11）、X轴工作导轨（12）、中间平台（13）和中间导轨（14），Y轴滑台（9）包括Y轴直线电机动子（15）、Y轴工作导轨（16）、Y轴平台（17）、驱动连杆（18）、第一气浮滑块（19）和第二气浮滑块（20），工作平台（10）包括工作导轨（21）、第三气浮滑块（22）和第四气浮滑块（23），X轴直线电机定子（4）和Y轴直线电机定子（7）分别固定在X轴基座（2）和Y轴基座（6）上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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