[发明专利]基板定位加工方法及其装置有效

专利信息
申请号: 201210190038.0 申请日: 2012-06-02
公开(公告)号: CN103447940B 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 朱小荣;廖文军;钟超阳 申请(专利权)人: 瑞士达光学(厦门)有限公司
主分类号: B24B37/27 分类号: B24B37/27
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361028 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供一种基板定位加工方法,包括摆放至少一非导磁性的基板于一具有磁化装置的治具上;叠置至少一导磁性的隔板压制所述基板;开启所述治具上的磁开关,其中,所述治具与隔板相互吸引,使得位于治具和隔板之间的所述基板定位于该治具上;然后使用一刀具对所述基板进行加工。本发明还提供一种基板定位加工装置,以利于一次性叠置定位多数片基板接受一次性的加工。
搜索关键词: 定位 加工 方法 及其 装置
【主权项】:
一种基板定位加工方法,其特征在于,包括:叠置多数片非导磁性的基板于一具有磁化装置的治具上;叠置至少一导磁性的隔板压制所述多数片基板,并且在相互叠置的所述多数片基板之间分别垫设一导磁性间隔物,其中,所述间隔物与所述隔板由相同的材料形成,所述治具磁性吸引所述间隔物和所述隔板,使得位于所述治具、所述间隔物和所述隔板之间的所述多数片基板定位于该治具上;以及使用一刀具对所述多数片基板进行加工。
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