[发明专利]基板定位加工方法及其装置有效

专利信息
申请号: 201210190038.0 申请日: 2012-06-02
公开(公告)号: CN103447940B 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 朱小荣;廖文军;钟超阳 申请(专利权)人: 瑞士达光学(厦门)有限公司
主分类号: B24B37/27 分类号: B24B37/27
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361028 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 定位 加工 方法 及其 装置
【权利要求书】:

1.一种基板定位加工方法,其特征在于,包括:

叠置多数片非导磁性的基板于一具有磁化装置的治具上;

叠置至少一导磁性的隔板压制所述多数片基板,并且在相互叠置的所述多数片基板之间分别垫设一导磁性间隔物,其中,所述间隔物与所述隔板由相同的材料形成,所述治具磁性吸引所述间隔物和所述隔板,使得位于所述治具、所述间隔物和所述隔板之间的所述多数片基板定位于该治具上;以及

使用一刀具对所述多数片基板进行加工。

2.如权利要求1所述的基板定位加工方法,其特征在于,所述磁化装置固定于治具的底部,该磁化装置包含一可磁化吸盘、一磁开关及一电源,该可磁化吸盘、磁开关、电源以串联的形式进行电性连接。

3.如权利要求1所述的基板定位加工方法,其特征在于,所述磁化装置内嵌所述治具中。

4.如权利要求1所述的基板定位加工方法,其特征在于,所述磁化装置与所述治具一体化形成。

5.如权利要求1所述的基板定位加工方法,其特征在于,所述治具还包含围绕于所述多数片基板四周端边的刀槽,刀具绕所述刀槽一圈进行加工作业。

6.如权利要求1所述的基板定位加工方法,其特征在于,所述隔板为金属隔板。

7.如权利要求1所述的基板定位加工方法,其特征在于,该隔板是单一片叠置于最顶层基板的顶部而压制所述多数片基板。

8.一种基板定位加工装置,其特征在于,包括:

一含有磁化装置的治具;

一用于压制非导磁性的多数片基板的导磁性的隔板,其中,所述多数片基板相互叠置于所述治具上,而且相互叠置的所述多数片基板之间分别垫设一导磁性间隔物,所述间隔物与所述隔板由相同的材料形成;以及

一用于研磨所述多数片基板端边的刀具。

9.如权利要求8所述的基板定位加工装置,其特征在于,该治具上形成有一围绕于所述多数片基板四周端边的刀槽。

10.如权利要求8所述的基板定位加工装置,其特征在于,磁化装置包含一可磁化吸盘、一磁开关及一电源,该可磁化吸盘、磁开关、电源以串联的形式进行电性连接。

11.如权利要求8所述的基板定位加工装置,其特征在于,所述磁化装置内嵌于所述治具中。

12.如权利要求8所述的基板定位加工装置,其特征在于,所述磁化装置与所述治具一体化形成。

13.如权利要求8所述的基板定位加工装置,其特征在于,所述隔板为金属隔板。

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