[发明专利]一种石英舟无效
申请号: | 201210189339.1 | 申请日: | 2012-06-11 |
公开(公告)号: | CN103489954A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 常永喜;陈文;申应琪 | 申请(专利权)人: | 苏州安融石英有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;C30B31/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种石英舟,包括舟体和用于连接所述舟体同一侧的2个所述舟脚均为乳白不透明石英,材质上保证了统一性,在高温加工中,不会向外释放杂质微粒,确保石英舟所承载的被加工物体的纯度和良品率,且在检测环节,舟脚能一直保持对红外线较高的反射率,使得自动检测设备的定位能保持稳定,不会出现定位不准撞坏舟脚的问题,显著提高了石英舟的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
【主权项】:
一种石英舟,包括舟体(1)和用于连接所述舟体(1)的同一侧的两个舟脚(2),其特征在于:同一侧两个所述舟脚(2)均为乳白不透明石英。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的