[发明专利]用于确定透射和/或反射特性的测量方法和测量设备

摘要

本发明涉及一种用于确定优选大面积半透明的对象的透射和/或反射特性的光学测量方法。该光学测量方法尤其是能够应用于在制造被表面涂层的衬底时的工艺和质量控制。此外，本发明的主题是用于执行本发明方法的光学测量设备。根据本发明，确定透射和反射特性，其方式是顺序地：利用第一照明装置照射对象的第一大面并且在此利用光电探测器（14）测量总透射，利用第二照明装置照射对象的与第一大面平行相对的第二大面并且在此利用光电探测器（4）测量漫透射，并且可选地利用第一照明装置照射对象的第一大面并且在此利用光电探测器（4）测量反射，和/或利用第二照明装置照射对象的第二大面并且在此利用光电探测器（14）测量反射。

主权项

一种用于测量尤其是大面积半透明对象（1）的透射和反射特性的光学测量方法，优选地能应用于在制造被表面涂层的衬底时的工艺和质量控制，其中‑利用两个辐射漫射光的照明装置（7，9）和两个光电探测器（4，14）进行所述测量，其方式是或者：‑利用照明装置中的第一照明装置（9）照射对象（1）的第一大面（3），并且在此同时利用第一光电探测器（14）测量总透射和利用第二光电探测器（4）测量在该大面（3）处的反射，和然后‑利用第二照明装置（7）照射对象（1）的与第一大面相对的第二大面（2），并且在此同时利用第二光电探测器（4）测量漫透射和利用第一光电探测器（14）测量在该大面（2）处的反射，或者顺序地以任意顺序：‑利用照明装置中的第一照明装置（9）照射对象（1）的第一大面（3）并且在此利用第一光电探测器（4）测量总透射，‑利用第二照明装置（7）照射对象（1）的与第一大面相对的第二大面（2）并且在此利用第二光电探测器（4）测量漫透射。