[发明专利]硅片切割废浆液的处理方法有效
| 申请号： | 201210187582.X | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN103466623A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 周君;支田田;罗伟琪;刘伟;杨长剑 | 申请（专利权）人： | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/36 | 分类号： | C01B31/36 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李玉秋 |
| 地址： | 314117 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片切割废浆液的处理方法，包括以下步骤：将硅片切割废浆液进行离心分离，分别得到液料和固料；利用磁力装置去除所述固料中的铁，得到SiC。本发明利用物理方法去除了硅片切割废浆液中的硅粉、铁杂质和水分等，避免了对SiC棱角的损坏和碱性物质的引入，同时避免了SiC磨料离心回收带来的大量污水排放。与现有技术相比，本发明利用磁力装置去除了固料中的铁，降低了物理回收的碳化硅中的铁粉含量，提高了碳化硅的品质。本发明提供的硅片切割废浆液的处理方法适用于1200#、1500#和2000#SiC砂浆体系，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 浆液 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片切割废浆液的处理方法，包括以下步骤：步骤a）将硅片切割废浆液进行离心分离，分别得到液料和固料；步骤b）利用磁力装置去除所述固料中的铁，得到SiC。
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