[发明专利]硅片切割废浆液的处理方法有效

专利信息
申请号: 201210187582.X 申请日: 2012-06-07
公开(公告)号: CN103466623A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 周君;支田田;罗伟琪;刘伟;杨长剑 申请(专利权)人: 浙江昱辉阳光能源有限公司
主分类号: C01B31/36 分类号: C01B31/36
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李玉秋
地址: 314117 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 硅片 切割 浆液 处理 方法
【说明书】:

技术领域

本发明涉及硅片切割技术领域,更具体地说,涉及一种硅片切割废浆液的处理方法。

背景技术

硅片切割是太阳能电池用硅片生产中的最重要的环节之一。在硅片切割过程中,需要采用大量的碳化硅浆料,即磨料SiC和聚乙二醇切割液的悬浮体系。随着切割的进行,会有硅粉和铁屑等杂质带入到碳化硅浆料中,影响该切割液出现切割力不足以及杂质影响切割品质的现象,易出现线痕和花污等,从而导致碳化硅浆料不能用来继续切割。但是,碳化硅浆料用量很大,几乎是切割硅棒重量的6~10倍,如果废弃会带来环境问题,并且切割所用的碳化硅浆料的成本要占到切割成本的三成以上。为了降低成本、达到环境目标,硅片切割废浆液的回收再利用已经成为太阳能光伏行业中的重要方面。

硅片切割废浆液的回收再利用主要分为切割液回收和SiC回收,其中,SiC回收是其主要方面。目前,化学回收方法是对SiC进行回收的主要方法,即通过化学反应除去硅粉,从而得到纯度较高的SiC磨料。该方法需要加入了强酸、强碱等化学物质,经过烘烤、碾磨、分选等步骤后得到SiC磨料。但是,在烘烤以及研磨过程中,SiC磨料的圆形度易受到破坏,SiC磨料的切割力会由于细颗粒过多、棱角的磨损而下降,并且NaOH和Na2SiO3较难完全洗涤干净,需要使用大量水,从而排放出大量酸性或者碱性废水,可能造成二次污染。

为了避免化学法回收中二次污染等现象的发生,物理法回收SiC得到了广泛的研究与应用。例如,公开号为102071092A的中国专利申请公开了一种硅片切割废砂浆料回收循环利用方法,将硅片切割废砂浆料离心分离后得到的固相与水混合,然后进行多级旋流器分离、酸洗、旋流器分离、带式过滤机过滤和干燥,得到SiC成品。公开号为101792141A的中国专利文献报道了硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺,向废砂浆中加入酸和水自然沉降,然后加入分散剂,调节pH后通过电泳的方法进行分离,得到SiC成品。但是,上述方法得到的SiC成品中的铁含量较高,影响SiC的品质。

发明内容

有鉴于此,本发明解决要解决的技术问题在于,提供一种硅片切割废浆液的处理方法,该方法得到的SiC粉体中铁含量较低。

为了解决以上技术问题,本发明提供一种硅片切割废浆液的处理方法,包括以下步骤:

步骤a)将硅片切割废浆液进行离心分离,分别得到液料和固料;

步骤b)利用磁力装置去除所述固料中的铁,得到SiC。

优选的,所述步骤a)具体为:

利用螺旋离心机将硅片切割废浆液进行离心分离,进料速度为0.6~1.2T/h,分别得到液料和固料。

优选的,所述螺旋离心机的转速为2000~2500rpm。

优选的,所述螺旋离心机的转鼓长径比为2~2.5。

优选的,所述螺旋离心机的转鼓半径为300~450mm。

优选的,所述螺旋离心机的挡板高度为5~15mm。

优选的,所述步骤b)具体为:

步骤b1)将所述固料与硅片切割液混合,形成混合液;

步骤b2)向所述混合液中插入磁铁去除所述混合液中的铁,离心分离后得到SiC。

优选的,所述磁铁的磁通量为500~1000mT。

优选的,所述步骤b2)的离心分离采用螺旋离心机,所述螺旋离心机的转速为2000~2500rpm。

优选的,所述螺旋离心机的转鼓长径比为2~2.5,转鼓半径为300~450mm。

本发明提供一种硅片切割废浆液的处理方法,包括以下步骤:将硅片切割废浆液进行离心分离,分别得到液料和固料;利用磁力装置去除所述固料中的铁,得到SiC。本发明利用物理方法去除了硅片切割废浆液中的硅粉、铁杂质和水分等,避免了对SiC棱角的损坏和碱性物质的引入,同时避免了SiC磨料离心回收带来的大量污水排放。与现有技术相比,本发明利用磁力装置去除了固料中的铁,降低了物理回收的碳化硅中的铁粉含量,提高了碳化硅的品质。本发明提供的硅片切割废浆液的处理方法适用于1200#、1500#和2000#SiC砂浆体系,具有广阔的应用前景。

附图说明

图1为本发明实施例1的硅片切割废浆液的处理流程图。

具体实施方式

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