[发明专利]太阳电池单元检查装置

摘要

本发明是有关于一种太阳电池单元检查装置，可在相同的位置，同时对反射影像与透射影像进行拍摄。太阳电池单元检查装置包括向半导体晶圆的第一面照射可见光的第一照射部；接收半导体晶圆所反射的可见光以取得半导体晶圆的反射影像的第一拍摄部；向与半导体晶圆的第一面相向的第二面照射红外光的第二照射部；接收透过半导体晶圆的红外光以取得半导体晶圆的透射影像的第二拍摄部；基于反射影像及透射影像，判定半导体晶圆是否存在缺陷的判定部。上述太阳电池单元检查装置的特征在于：包括配置在第一拍摄部及第二拍摄部之间的分束器。

主权项

一种太阳电池单元检查装置，其特征在于包括：第一照射部，向平板形状的半导体晶圆的第一面照射可见光；第一拍摄部，接收所述半导体晶圆所反射的所述可见光，借此，取得所述半导体晶圆的反射影像；第二照射部，向与所述半导体晶圆的所述第一面相向的所述半导体晶圆的第二面照射红外光；第二拍摄部，接收透过所述半导体晶圆的所述红外光，借此，取得所述半导体晶圆的透射影像；以及判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半导体晶圆是否存在缺陷，上述太阳电池单元检查装置的特征在于：包括配置在所述第一拍摄部及所述第二拍摄部之间的分束器，所述分束器将不足设定波长的光引导至第一拍摄部，并且将设定波长以上的光引导至第二拍摄部。