[发明专利]图案化蓝宝石衬底的制作工艺

摘要

本发明涉及一种图形化感应偶合电浆蓝宝石衬底的制作方法。该制作工艺包括如下步骤对待蓝宝石衬底基板进行清洁处理；将蓝宝石与所述衬底对准安装，并将所述正面按设定距离设置匀胶涂佈在基板上；1.3根据预设的曝光条件进行投影曝光；对曝光后的衬底进行显影处理；对显影后的衬底进行干刻处理，将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；设定感应偶合电浆刻蚀腔的温度和真空度、以及冷却循环机的控制温度后，将干刻处理后的衬底放入刻蚀腔中的载片基台上；通入感应偶合电浆刻蚀气体对衬底进行刻蚀，通过输出频源和折射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过所述冷却循环机对所述载片基台进行冷却。我们以感应偶合电浆蓝宝石衬底的制作方法，将大大提高生产率、图形一致性、成品率高且工艺稳定。

主权项

一种图案化蓝宝石衬底的制作工艺，其特征在于：本工艺包括如下步骤：1.1对蓝宝石衬底基板进行清洁处理；1.2将蓝宝石与所述衬底对准安装，并将衬底正面按设定距离设置匀胶涂佈在基板上；1.3根据预设的曝光条件进行投影曝光；1.4对曝光后的衬底进行显影处理；1.5对显影后的衬底进行干刻处理，将衬底表面的光刻胶作为刻蚀的掩膜；1.6设定感应偶合电浆刻蚀腔的温度和真空度、以及冷却循环机的控制温度后，将干刻处理后的衬底放入刻蚀腔中的载片基台上；1.7通入感应偶合电浆刻蚀气体对衬底进行刻蚀，通过输出频源和折射频源功率控制刻蚀速度和质量；同时通过所述冷却循环机对所述载片基台进行冷却；所述步骤1.2为将蓝宝石与所述衬底对准安装，并通过镜头控制组设定掩模版的图形投影到所述衬底上的投影比例；所述步骤1.3为根据预设的曝光条件按所述投影比例进行分区投影曝光；所述步骤1.6为设定刻蚀腔的温度和真空度、屏蔽罩的温度以及冷却循环机的控制温度后、将干刻处理后的衬底放入刻蚀腔中的具有多个片槽的载片基台上；所述步骤1.7还包括每个片槽通入氦气对所述衬底进行冷却；所述步骤1.1和1.2之间还包括步骤：对清洁后的衬底进行干刻处理；所述步骤1.3和1.4之间还包括步骤1.33：对曝光后的衬底进行干刻处理。