[发明专利]一种触摸屏金属剥离制程工艺有效
| 申请号： | 201210156999.X | 申请日： | 2012-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN102707587A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 周琦;胡里程;黄理 | 申请（专利权）人： | 芜湖长信科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G06F3/041 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 张小虹 |
| 地址： | 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种触摸屏金属剥离制程工艺，剥膜设备采用 TMAH2.38%（显影液，氢氧化四钾铵）作为剥离液，并由小车承载触摸屏以2.0-3.0m/min.速度在剥膜设备中进行金属剥离制程，所述的剥离液温度为22-26℃。使用UV灯配合TMAH2.38%的方式进行光刻金属剥离时，可将光阻有效去除，可减少低温ITO的跳跃金属导体断裂，提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触摸屏 金属 剥离 工艺 | ||
【主权项】：
一种触摸屏金属剥离制程工艺，其特征在于：剥膜设备采用 TMAH2.38%作为剥离液喷淋，并由小车承载触摸屏进入剥膜设备中进行金属剥离制程。
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