[发明专利]过滤器装置有效
| 申请号： | 201210137983.4 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN103381327A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张洪博;赵建军;李淼;商飞祥;龚辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种过滤器装置，适用于向半导体制造领域的光刻机提供洁净的气浴气体。该过滤器装置包括风道外壁、于所述风道外壁内侧并排设置的多个过滤器以及多个分流板；所述过滤器平行于入风方向安装；所述分流板安装于过滤器的端部；且分流板与过滤器交替布置连接成封闭所述风道外壁内侧的结构，实现气体在过滤器装置入口的分流，经过过滤器之后，在过滤器装置出口的汇流。采用上述设计，此滤器装置在保证气浴气体洁净度的同时可以做到整体尺寸小、质量轻，可以安装在风道内部，适用于小型光刻机。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 装置 | ||
【主权项】：
一种过滤器装置，包括风道外壁，其特征在于，还包括位于所述风道外壁内侧并排设置的多个过滤器以及多个分流板；所述过滤器平行于入风方向安装；所述分流板安装于过滤器的端部；且分流板与过滤器交替布置连接成封闭所述风道外壁内侧的结构，实现气体在过滤器装置入口的分流，以及经过过滤器之后，在过滤器装置出口的汇流。
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