[发明专利]过滤器装置有效
申请号: | 201210137983.4 | 申请日: | 2012-05-04 |
公开(公告)号: | CN103381327A | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 张洪博;赵建军;李淼;商飞祥;龚辉 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 过滤器 装置 | ||
1.一种过滤器装置,包括风道外壁,其特征在于,还包括位于所述风道外壁内侧并排设置的多个过滤器以及多个分流板;所述过滤器平行于入风方向安装;所述分流板安装于过滤器的端部;且分流板与过滤器交替布置连接成封闭所述风道外壁内侧的结构,实现气体在过滤器装置入口的分流,以及经过过滤器之后,在过滤器装置出口的汇流。
2.如权利要求1所述的过滤器装置,其特征在于:相邻两个过滤器的过风方向相反,相邻两个过滤器之间的分流板安装于两个过滤器的同侧端部。
3.如权利要求1所述的过滤器装置,其特征在于:所有过滤器的过风方向相同,相邻两个过滤器之间的分流板具有与过滤器并排设置的中间部分以及位于所述中间部分两端的末端部分,两个末端部分分别安装于不同过滤器的不同侧端部。
4.如权利要求3所述的过滤器装置,其特征在于:所述分流板的中间部分与过滤器平行设置。
5.如权利要求3所述的过滤器装置,其特征在于:所述分流板具有阶梯式的中间部分。
6.如权利要求5所述的过滤器装置,其特征在于:所述阶梯为一级或者两级以上。
7.如权利要求3所述的过滤器装置,其特征在于:所述中间部分为相对过滤器倾斜的平板状结构。
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