[发明专利]过滤器装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体生产设备，尤其是对应用于光刻机的过滤器装置的改进。

背景技术

光刻机是高精密设备，整机内部环境的洁净度对光刻精度及产品良率的影响很大。一般采用洁净气浴的方式，直接吹扫或者保护掩模、基底及光路的洁净；同时，通过保证光刻机内部相对于净化间的过压，有效的防止外部的污染进入光刻机内部。

现有气浴气体过滤器装置的设计方法主要有：

●过滤器装置设计成单独的过滤净化柜的形式，内部设计安装几组高效过滤器；

●过滤装装置设计成整机顶部或整机侧面出风面过滤的形式，即在整机顶部风道或整机侧面风道设计安装大面积高效过滤器；

●过滤器装置设计成局部气浴板出风面过滤的形式，即在局部气浴板内部设计安装定制超薄高效过滤器。

另外，现有的气浴气体过滤器装置多采用在气浴末端或者风道末端的出风面安装高效过滤器装置，过滤器装置由风道外壁1、高效过滤器2组成，高效过滤器2垂直于入风方向安装，如图1所示。

上述技术广泛应用于扫描光刻机及步进光刻机中，但有很多不足：

■净化柜形式的过滤器装置，装置复杂，成本高，占用空间大，一般只适用于扫描光刻机；

■整体端面形式的过滤器装置，加大整机尺寸及整机重量，不适用于小型、轻型光刻机；

■局部端面形式的过滤器装置，加厚局部气浴板厚度，需要很大的安装空间，同时加重局部气浴板的重量，不利于局部气浴板的模态设计。

总而言之，现有气浴过滤器装置主要特点是：风道末端的出风面积与过滤器面积相同，过滤器表面过风速度小且过风速度均匀；但要求有足够的安装空间，大大增加整机的尺寸同时增加整机及重量，尤其不适用于小型、轻型光刻机。在总结上述现有技术局限的基础上，本发明专利针对过滤器装置提出改进。

发明内容

本发明针对现有技术的不足，提出一种具有更小尺寸的过滤器装置。

本发明所采用的技术方案是：一种过滤器装置，包括风道外壁、位于所述风道外壁内侧并排设置的多个过滤器以及多个分流板；所述过滤器平行于入风方向安装；所述分流板安装于过滤器的端部；且分流板与过滤器交替布置连接成封闭所述风道外壁内侧的结构，实现气体在过滤器装置入口的分流，以及经过过滤器之后，在过滤器装置出口的汇流。

本发明可以采用如下具体结构：相邻两个过滤器的过风方向相反，分流板安装于过滤器的同侧端部；所有过滤器的过风方向相同，分流板具有相邻两个过滤器之间的中间部分。所述中间部分可以平行于过滤器、相对过滤器倾斜设置或者为台阶状。

采用上述设计，此滤器装置在保证气浴气体洁净度的同时可以做到整体尺寸小、质量轻，可以安装在风道内部，适用于小型光刻机。

附图说明

通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是现有技术中过滤器装置的结构图；

图2是实施例一的过滤器装置结构图；

图3是实施例二的过滤器装置结构图；

图4是实施例三的过滤器装置结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施例作详细说明。

【实施例一】

本实施例提出一种过滤器装置，此过滤器装置由风道外壁101、位于风道外壁101内侧并排设置的多个高效过滤器102以及多个分流板103构成。高效过滤器102平行于入风方向安装，其过风方向垂直于风道外壁101，相邻两个高效过滤器102的过风方向相反；分流板103安装于高效过滤器102端部，本实施例中，相邻两个高效过滤器102之间的分流板103安装于高效过滤器102的同侧；且分流板103与高效过滤器102交替布置连接成封闭风道外壁内侧的结构，实现气浴气体在过滤器装置入口（图中高效过滤器102左侧）的分流，经过高效过滤器102之后，在过滤器装置出口（图中高效过滤器102右侧）的汇流。以风道外壁101内安装四个高效过滤器102为例，分流装置如图2所示。

这种过滤器装置设计方法，实现了多个高效过滤器102并行过滤，风道体积尤其出风面积明显变小，可以根据风道外壁101的尺寸灵活设计高效过滤器102的长度、厚度及数量。同时高效过滤器102及分流板103便于拆装，可以定期维护更换高效过滤器102。