[发明专利]用于使用粒子光学设备来确定重构图像的方法

摘要

描述了一种用于使用粒子光学设备来确定重构图像的方法。该粒子光学设备包括用于产生一束粒子的粒子源、可以将要成像的对象放置在其上面的对象平面、用于用该束粒子照亮对象平面的聚光器系统、用于形成对象平面的图像的投影系统以及用于检测图像的检测器，所述检测器包括具有像素阵列的半导体传感器，其用于响应于入射在检测器上的粒子从阵列的各像素提供多个像素信号。该方法包括接收多个像素信号，通过对所述多个信号使用维特比检测来确定重构图像，该维特比检测使用与入射在检测器上的粒子的多个配置相对应的多个不同状态，所述多个不同状态中的至少两个状态对应于所述多个像素信号的单个像素上的入射粒子的相同、非零多重度。

主权项

一种用于使用粒子光学设备来确定重构图像的方法，该粒子光学设备包括：· 粒子源（101），其用于产生一束粒子，· 对象平面，可以在其上面放置要成像的对象（111），· 聚光器系统（104），其用于用该束粒子照亮对象平面，· 投影系统（106），其用于通过在图像平面上对通过所述对象透射的粒子进行成像来形成对象平面的图像，以及· 检测器（150），其用于检测（50）图像，该检测器包括具有像素阵列的半导体传感器，其用于响应于入射在检测器上的粒子从阵列的各像素提供多个像素信号，该方法包括：· 接收（60）所述多个像素信号，以及· 通过对所述多个像素信号使用维特比检测来确定（70）重构图像，     维特比检测使用与入射在检测器上的粒子的多个配置相对应的多个不同状态，以及     所述多个不同状态中的至少两个状态对应于所述多个像素信号的单个像素上的入射粒子的相同、非零多重度。