[发明专利]一种玻璃镀膜设备有效
| 申请号： | 201210124829.3 | 申请日： | 2012-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN103374699A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 杨宏斌;李忠祥;康延坡 | 申请（专利权）人： | 北京物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人： | 张江涵 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃镀膜设备，包括工艺室、出口缓冲室、出口室、工艺室泵组、出口缓冲室泵组和出口室泵组，工艺室、出口缓冲室和出口室依次通过气缸阀门相连，工艺室泵组与工艺室相连，出口缓冲室泵组与出口缓冲室相连，出口室泵组与出口室相连，出口室泵组包括至少一组泵组，每组泵组包括旋片泵和罗茨泵，罗茨泵连接在出口室和旋片泵之间，所述前级旋片泵和出口室之间还设置有真空管道和真空管道阀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种玻璃镀膜设备，包括工艺室、出口缓冲室、出口室、工艺室泵组、出口缓冲室泵组和出口室泵组，工艺室、出口缓冲室和出口室依次通过气缸阀门相连，工艺室泵组与工艺室相连，出口缓冲室泵组与出口缓冲室相连，出口室泵组与出口室相连，出口室泵组包括至少一组泵组，每组泵组包括旋片泵和罗茨泵，罗茨泵连接在出口室和旋片泵之间，其特征在于，所述前级旋片泵和出口室之间还设置有真空管道和真空管道阀。
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