[发明专利]一种玻璃镀膜设备

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃镀膜领域，特别是涉及一种玻璃镀膜设备。

背景技术

在玻璃的真空镀膜生产中，如何保证镀膜腔内的大板玻璃快速、连续、完整、安全的输送出镀膜腔体是至关重要的。目前国内外镀膜生产线工艺速度根据各个膜系的不同，一般设置在3.5-6.5m/min之间，工艺区内玻璃与玻璃间距为0.5m-0.8m之间。工艺速度不能随心所欲提升的最大制约条件之一就是出口室的玻璃由于受到出口泵组的抽气时间的影响，导致玻璃不能及时送出腔体，引起各种跳靶事故。

工艺区镀膜合格玻璃从工艺腔室真空度为1.0x10e^-3mbar出来，通过出口缓冲室真空度为1.0x10e^-1mbar再到出口室，最后从出口室放气进入大气状态。玻璃从出口室出来后，出口室马上进行泵组抽气，达到与出口缓冲室相匹配的真空度压差允许时，打开阀门，以有效的方式迎接不断冲出来的镀膜玻璃。以此往复进行向大气外输送玻璃。

如何以最快的速度从工艺室真空度为1.0x10e^-3mbar到大气状态，是整个镀膜生产行业迫切需要解决的问题之一，各个技术应用也通过各个方式做出努力去缩短出口室的抽气时间，以至于在大气状态下，能用最短的时间，通过泵组达到出口缓冲室相匹配的真空度压差，再以有效的方式输送不断冲出来的镀膜玻璃。如通过软件设置开关门的条件，或者通过增加泵组抽气，或者通过缩小出口室的容积等方式达到缩短出口室的抽气时间。

发明内容

发明的目的是提供一种抽气时间较短的玻璃镀膜设备。

本发明所提供的技术方案为：

一种玻璃镀膜设备，包括工艺室、出口缓冲室、出口室、工艺室泵组、出口缓冲室泵组和出口室泵组，工艺室、出口缓冲室和出口室依次通过气缸阀门相连，工艺室泵组与工艺室相连，出口缓冲室泵组与出口缓冲室相连，出口室泵组与出口室相连，出口室泵组包括至少一组泵组，每组泵组包括旋片泵和罗茨泵，罗茨泵连接在出口室和旋片泵之间，所述前级旋片泵和出口室之间还设置有真空管道和真空管道阀。

改进后的方案抽气时间可以比原来缩短，大大提高了抽气效率。

附图说明

本发明的其它特征、特点、优点和益处将通过以下结合附图的详细描述变得更加显而易见。其中：

图1是本发明改进前的玻璃镀膜设备的结构示意图。

图2是本发明改进后的玻璃镀膜设备的结构示意图。

图中，1工艺室、2出口缓冲室、3出口室、4玻璃、5工艺室泵组、6出口缓冲室泵组、7出口室泵组、11罗茨泵、12前级旋片泵、13原有真空管道、14增加的真空管道、15管道控制阀

具体实施方式

下面，将结合附图来详细描述本发明的实施例。

请参照图1，图1是本发明改进前的玻璃镀膜设备的结构示意图。该玻璃镀膜设备包括工艺室1、出口缓冲室2、出口室3、工艺室泵组5、出口缓冲室泵组6和出口室泵组7。工艺室1、出口缓冲室2和出口室3依次通过气缸阀门相连，工艺室泵组5与工艺室1相连，出口缓冲室泵组6与出口缓冲室2相连，出口室泵组7与出口室3相连。出口室泵组7包括三组泵组，每组泵组包括旋片泵71和罗茨泵72，罗茨泵72连接在出口室和旋片泵71之间。应当明确，出口室泵组7包括的泵组可以是一个或者多个。

当玻璃4从工艺室1到达出口缓冲室2的时候，出口室3真空度只要达到与出口缓冲室2真空度压差允许的范围时，出口缓冲室2与出口室3之间的气缸阀门打开，玻璃4进入出口室3，当玻璃4完全进入后，阀门关闭，出口室3放气，达到大气状态，此时玻璃4冲出出口室3。

出口室3阀门关闭后，出口室泵组7前阀打开，三组泵组进行抽气，旋片泵71只作为前级泵进行抽气，为罗茨泵72提供抽气条件，当出口室3抽气真空度达到出口缓冲室2的真空度时，打开阀门，玻璃4送出腔体。

请参照图2，图2是本发明改进后的玻璃镀膜设备的结构示意图。本发明的改进点在于：玻璃4送出出口室3后，阀门关闭，在前级旋片泵71和出口室3之间增加真空管道73和真空管道阀74，即，真空管道73与该罗茨泵72并联，真空管道阀74控制真空管道73的打开与关闭。该当开始抽气时，真空管道阀74打开，前级旋片泵71和罗茨泵72同时对出口室3进行抽气，当出口室3达到出口缓冲室2真空度压差时，抽气结束，此时关闭真空管道阀74，防止罗茨泵72倒抽前级旋片泵71。经过实践验证，改进后的方案抽气时间可以比原来缩短3-4S，大大提高了抽气效率。

为了举例说明本发明的实现，描述了上述的具体实施方式。但是本发明的其他变化和修改，对于本领域技术人员是显而易见的，在本发明所公开的实质和基本原则范围内的任何修改/变化或者仿效变换都属于本发明的权利要求保护范围。