[发明专利]超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法

摘要

本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于，设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准板的夹持装置，利用检测系统对标准板采集得到暗场畸变图像，通过该畸变图像和计算机按照物面尺寸和像面像素关系重构的标准板理想图像的匹配建立畸变退化模型，并提出一种基于二次极坐标正反变换和二次灰度线性插值的畸变校正方法。本方法能够校正超光滑表面缺陷检测系统中因畸变造成的相邻子图像的拼接错位，同时也适用于校正其他基于图像拼接的大视场光学系统中存在的畸变。

主权项

一种超光滑表面缺陷检测系统，其特征在于包括二维移导装置(S5)、计算机(S6)、光学显微成像装置(S7)、标准板(S8)和标准板的夹持装置(S9)，光学显微成像装置(S7)包括LED环形照明光源(S2)、变倍显微镜(S3)、CCD探测器(S4)；CCD探测器(S4)、变倍显微镜(S3)、LED环形照明光源(S2)顺次连接组成检测系统的光学显微成像装置(S7)，CCD探测器(S4)通过通信线缆与计算机(S6)相连，光学显微成像装置(S7)安放在二维移导装置(S5)上，二维移导装置(S5)带动光学显微成像装置一起运动；LED环形照明光源(S2)产生奇数束光束经过准直变成平行光，以角度α为27°～33°入射到待检元件(S1)或标准板(S8)表面，其中一束入射光1，照射到表面缺陷，变成散射光3进入显微镜(S3)，在CCD探测器(S4)形成待检表面的暗场子图像，传输并保存到计算机(S6)中，二维移导装置(S5)带动光学显微成像装置(S7)相对于待检元件(S1)，从待检元件(S1)左上边缘开始，进行路线为S形的扫描运动，并以子图像行列坐标位置A11，A21，A31，...，AM1，AM2，...，AMN命名图像矩阵，完成对整个待检元件(S1)的全通光口径图像采集，相邻子图像之间具有1/4～1/6的重叠区域，然后计算机(S6)拼接子图像，得到大尺寸元件全口径的疵病图像。