[发明专利]外延结构体有效
申请号: | 201210122568.1 | 申请日: | 2012-04-25 |
公开(公告)号: | CN103378247A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 魏洋;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/20 |
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地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种外延结构体,其中,所述外延结构体包括依次层叠设置的一基底,一石墨烯层及一外延层,所述基底与所述外延层接触的表面具有多个凹陷,形成一图案化的表面,所述石墨烯层设置于所述图案化的表面,所述外延层与所述基底接触的表面与所述图案化的表面耦合。 | ||
搜索关键词: | 外延 结构 | ||
【主权项】:
一种外延结构体,其特征在于,所述外延结构体包括依次层叠设置的一基底,一石墨烯层及一外延层,所述基底与所述外延层接触的表面具有多个微米级凹陷,相邻的凹陷之间形成凸起,形成一图案化的表面,所述石墨烯层设置于所述图案化的表面,所述外延层与所述基底接触的表面与所述图案化的表面耦合,对应凸起位置处的石墨烯层夹持于基底与外延层之间,对应凹陷位置处的石墨烯层嵌入所述外延层中。
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