[发明专利]一种用于磷化铟制备的高压炉无效
| 申请号： | 201210121250.1 | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN102602902A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 冯先达 | 申请（专利权）人： | 南京金美镓业有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/08 | 分类号： | C01B25/08 |
| 代理公司： | 江苏致邦律师事务所 32230 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 211165 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于磷化铟制备的高压炉，包括炉体外壳、炉腔，炉腔内设有加热器，加热器中设有坩埚，加热器与炉体外壳之间设有热保护系统，还包括操作杆，操作杆穿过炉体外壳顶部的第一通孔进入炉腔，第一通孔采用多重高压密封；操作杆上设有推进装置、旋转装置。本发明大大简化了部件结构，满足了高压炉原位合成—引上磷化铟晶棒的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磷化 制备 高压 | ||
【主权项】：
一种用于磷化铟制备的高压炉，包括炉体外壳、炉腔，炉腔内设有加热器，加热器中设有坩埚，加热器与炉体外壳之间设有热保护系统，其特征在于：还包括操作杆，操作杆穿过炉体外壳顶部的第一通孔进入炉腔，第一通孔采用多重高压密封；操作杆上设有推进装置、旋转装置。
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