[发明专利]在透明材料中制备三维流体通道的方法无效
| 申请号： | 201210110238.0 | 申请日： | 2012-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN102627257A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 于晓明;何飞;程亚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00;B23K26/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种在透明材料中制备三维流体通道的方法，利用圆偏振的飞秒激光在透明材料内部制备复杂三维流体通道。本发明制备的三维流体通道，具有各向腐蚀速率相同、对复杂结构腐蚀速率较快的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 材料 制备 三维 流体 通道 方法 | ||
【主权项】：
一种在透明材料中制备三维流体通道的方法，特征在于包括下列步骤：（1）将线偏振的飞秒激光变为圆偏振光；（2）圆偏振的飞秒激光辐照：用透镜或者显微物镜将光束聚焦于透明材料样品内部，此样品置于由电脑控制的可编程的三维移动平台上，通过程序在内部写入三维结构；（3）化学腐蚀：将辐照之后的样品放入氢氟酸中进行腐蚀，步骤（2）中被激光辐照的区域将会比未被辐照的区域更加容易被腐蚀，从而沿着步骤（2）中写入的三维微结构形成微流体通道，腐蚀时间的长短取决于步骤（2）中写入结构的尺寸。
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