[发明专利]一种一维到三维边界热阻的测试结构和方法有效
| 申请号： | 201210106835.6 | 申请日： | 2012-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102621182A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 黄如;林增明;王润声;邹积彬;李佳;许晓燕 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种一维到三维边界热阻测试方法，该方法利用一种简单的测试结构，该测试结构包括长方体A、长方体B和纳米线三部分，长方体A和长方体B之间由悬空的纳米线相连。通过两组测试结构1和测试结构2的纳米线的整体热阻R1、R2，测得一维到三维边界热阻R1-3。本方法可以为纳米尺度器件散热结构的设计和关键路径的研究给出参数依据，并且为今后热阻网络和器件热效应的模拟有直接帮助。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一维到 三维 边界 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种一维到三维边界热阻的测试结构，其特征在于，包括一衬底，在衬底上设有长方体A和长方体B，长方体A和长方体B之间由悬空的纳米线相连，长方体A的上表面溅射一层金属层，长方体A和衬底之间有一层绝热层，长方体B和衬底直接相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210106835.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
