[发明专利]机电变换器和光声装置有效
申请号: | 201210102975.6 | 申请日: | 2012-04-10 |
公开(公告)号: | CN102738383A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 虎岛和敏;笠贯有二 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09;H01L41/22 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 杨小明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种机电变换器和光声装置。本发明提供一种机电变换器,其可防止光入射在接收面上,而不使振动膜的机械特性劣化。所述机电变换器具有至少一个单元(2),在单元(2)中,振动膜(7)被能振动地支承,振动膜(7)包含两个电极(3)和(8)中的一个电极(8),所述两个电极(3)和(8)被设置为在其之间插入间隙(5)。所述机电变换器具有形成在振动膜(7)上的、具有与振动膜(7)的声阻抗匹配的声阻抗的应力松弛层(9),并且具有形成在应力松弛层(9)上的光反射层(6)。 | ||
搜索关键词: | 机电 变换器 装置 | ||
【主权项】:
一种具有至少一个单元的机电变换器,在所述单元中,振动膜被能振动地支承,所述振动膜包含两个电极中的一个电极,所述两个电极被设置为在它们之间插入间隙,所述机电变换器包括:应力松弛层,所述应力松弛层被设置在所述振动膜上;和光反射层,所述光反射层被设置在所述应力松弛层上。
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