[发明专利]机电变换器和光声装置

权利要求书

1.一种具有至少一个单元的机电变换器，在所述单元中，振动膜被能振动地支承，所述振动膜包含两个电极中的一个电极，所述两个电极被设置为在它们之间插入间隙，所述机电变换器包括：

应力松弛层，所述应力松弛层被设置在所述振动膜上；和

光反射层，所述光反射层被设置在所述应力松弛层上。

2.根据权利要求1所述的机电变换器，其中，所述单元由基板、在所述基板的一个表面侧的第一电极、具有第二电极的振动膜、以及振动膜支承部分形成，所述振动膜支承部分支承所述振动膜，以在所述第一电极与所述振动膜之间形成间隙。

3.根据权利要求1或2所述的机电变换器，还包括被设置在所述应力松弛层与所述光反射层之间的支承所述光反射层的光反射层支承层，其中，所述光反射层支承层具有比所述应力松弛层的刚性高的刚性。

4.根据权利要求1所述的机电变换器，其中，所述应力松弛层具有1MRayls或更大且2MRayls或更小的声阻抗。

5.根据权利要求1所述的机电变换器，其中，所述应力松弛层具有0MPa或更大且100MPa或更小的杨氏模量。

6.根据权利要求3所述的机电变换器，其中，所述光反射层支承层具有1MRayls或更大且5MRayls或更小的声阻抗。

7.根据权利要求3所述的机电变换器，其中，所述光反射层支承层具有100MPa或更大且20GPa或更小的杨氏模量。

8.根据权利要求1所述的机电变换器，其中，所述应力松弛层由聚二甲基硅氧烷制成。

9.一种光声装置，所述光声装置包括根据权利要求1的机电变换器、光源和数据处理装置，其中，

所述机电变换器接收当被检体被从所述光源发射的振荡光辐照时所产生的声波，并且将所述声波转换为电信号，并且

所述数据处理装置使用所述电信号来产生图像数据。