[发明专利]Recipe管理方法和系统以及半导体设备控制系统

摘要

本发明公开了一种用于半导体设备的Recipe管理方法、Recipe管理装置及半导体设备控制系统。该Recipe管理方法包括判断RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述RecipeStep信息中的循环Step内容；若判断出所述RecipeStepName中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环Step内容和所述循环步骤标识执行Recipe操作指令；若判断出所述RecipeStepName中未包括所述循环步骤标识，根据所述RecipeStep信息逐步执行Recipe操作指令。该用于半导体设备的Recipe管理方法对于循环Step内容无需执行重复操作，减少了人力和资源的浪费，从而减少了操作时间的开销。

主权项

一种用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，包括：判断秘方步骤信息的秘方步骤名称中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述秘方步骤信息中的循环步骤内容；若判断出所述秘方步骤名称中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环步骤内容和所述循环步骤标识执行秘方操作指令,具体地，所述根据获取的所述循环步骤内容和所述循环步骤标识执行秘方操作指令包括：从所述循环步骤标识中解析出循环起始索引、循环终止索引和循环次数以及从所述秘方步骤信息中获取的循环步骤内容，以及；根据所述循环步骤内容、所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数执行秘方操作指令；若判断出所述秘方步骤名称中未包括所述循环步骤标识，根据所述秘方步骤信息逐步执行秘方操作指令。