[发明专利]电气机械换能器及其制造方法有效
| 申请号： | 201210099694.X | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN102728535A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 虎岛和敏;秋山贵弘;冨吉俊夫 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 卜荣丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本申请涉及电气机械换能器及其制造方法。一种制造电气机械换能器的方法包括：在第一电极上形成绝缘膜；在绝缘膜上形成牺牲层；在牺牲层上形成第一膜片；在第一膜片上形成第二电极；在第一膜片中形成蚀刻孔，并且通过蚀刻孔移除牺牲层；在第二电极上形成第二膜片，并且密封蚀刻孔。形成第二膜片和密封蚀刻孔在一个操作中执行。 | ||
| 搜索关键词： | 电气 机械 换能器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造电气机械换能器的方法，包括：在第一电极上形成绝缘膜；在所述绝缘膜上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成第一膜片；在所述第一膜片上形成第二电极；在所述第一膜片中形成蚀刻孔，并且通过所述蚀刻孔移除所述牺牲层；和在所述第二电极上形成第二膜片，并且密封所述蚀刻孔，其中，形成所述第二膜片和密封所述蚀刻孔在一个操作中执行。
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