[发明专利]电气机械换能器及其制造方法有效
| 申请号： | 201210099694.X | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN102728535A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 虎岛和敏;秋山贵弘;冨吉俊夫 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 卜荣丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电气 机械 换能器 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造电气机械换能器的方法，包括：
在第一电极上形成绝缘膜；
在所述绝缘膜上形成牺牲层；
在所述牺牲层上形成第一膜片；
在所述第一膜片上形成第二电极；
在所述第一膜片中形成蚀刻孔，并且通过所述蚀刻孔移除所述牺牲层；和
在所述第二电极上形成第二膜片，并且密封所述蚀刻孔，其中，
形成所述第二膜片和密封所述蚀刻孔在一个操作中执行。
2.根据权利要求1所述的制造电气机械换能器的方法，其中，所述第一膜片具有所述牺牲层的厚度的两倍或更大的厚度。
3.根据权利要求1或2所述的制造电气机械换能器的方法，其中，所述第二膜片具有所述牺牲层的厚度的三倍或更大的厚度。
4.根据权利要求1所述的制造电气机械换能器的方法，其中，所述第二膜片具有比所述第一膜片的厚度大的厚度。
5.根据权利要求1所述的制造电气机械换能器的方法，其中，所述第一膜片是通过PECVD形成的硅氮化物膜。
6.根据权利要求1所述的制造电气机械换能器的方法，其中，所述牺牲层由铬制成，并且通过湿式蚀刻移除。
7.一种电气机械换能器，包括：
第一电极；
绝缘膜，其设置在所述第一电极上；和
振动膜，其包括第一膜片、第二电极和第二膜片，所述第一膜片设置在所述绝缘膜上，并且在所述第一膜片与所述绝缘膜之间有间隙，所述第二电极设置在所述第一膜片上以与所述第一电极相对，所述第二膜片在所述间隙的相对侧设置在所述第二电极上，其中，
所述间隙通过下述方式形成，即，通过设置在所述第一膜片层中的蚀刻孔来移除形成在所述绝缘膜上的牺牲层；并且
密封所述蚀刻孔的密封部分具有与所述第二电极上的第二膜片相同的厚度。
8.根据权利要求7所述的电气机械换能器，其中，所述第一膜片具有所述间隙的厚度的两倍或更大的厚度。
9.根据权利要求7或8所述的电气机械换能器，其中，所述第二膜片具有所述间隙的厚度的三倍或更大的厚度。
10.根据权利要求7所述的电气机械换能器，其中，所述第二膜片具有比所述第一膜片的厚度大的厚度。
11.根据权利要求7所述的电气机械换能器，其中，所述第一膜片具有500N/m或更大且3000N/m或更小的弹簧常数。
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