[发明专利]一种硅片切割废砂浆回收方法

摘要

本发明公开了一种硅片切割废砂浆回收方法，采用物理法处理工艺，第一步，预处理，进行固液分离；第二步，液线回收聚乙二醇，将第一步分离所得滤液经过压榨去粒子、脱色、离子交换、四效蒸馏、冷却获得聚乙二醇成品，第三步骤，固线回收碳化硅，将第一步所得滤饼经过一级压滤、二级压滤、干燥、分选机分离杂质获得碳化硅成品。本发明不仅分离量大，回收率高、回收聚乙二醇和碳化硅质量好，且实现环保零污染处理，同时降低了生产成本。

主权项

一种硅片切割废砂浆回收方法，其特征在于包括如下步骤：步骤一、预处理：按原浆与水体积比2：3～5的比例进行有效均匀搅拌，然后采用压滤机进行固液分离；步骤二、聚乙二醇的回收：将步骤一固液分离后得到的液体输送到去粒子压滤机，循环压滤10—15分钟；然后将所得滤液输送到滤布上涂有活性碳的压滤机中进行脱色压滤，温度控制在50—80℃，循环10—15分钟；脱色后的滤液先经过袋式过滤器，过滤除去小颗粒，之后液体输送至阴阳离子交换器去除阴阳离子，液体PH值控制在8—10；最后将经过离子交换的液体进行四效蒸馏，将水分控制在0.5%以下，冷却得到聚乙二醇成品；步骤三、碳化硅的回收：一级压滤：步骤一对配比搅匀的砂浆采用压滤机进行固液分离，然后泵入清水对留在压滤机中的滤饼进行三次洗涤压榨，接着对滤饼进行吹气，完成一级压滤的一压，然后卸下滤饼与水按体积比2：3～5的比例配合，搅拌形成浆料，输送至压滤机进行一级压滤的二压，重复一压中的压滤、三次清水洗涤压榨、吹气步骤，完成一级压滤的二压，将滤饼含水量控制在2%以下；接着进行二级压滤：将一级压滤二压后的滤饼与水按体积比2：3～5的比例配合，搅拌形成浆料，送入压滤机，重复一级压滤步骤，经过二级压滤二压后的滤饼含水量控制在2%以下；然后将经过二级压滤的滤饼进行干燥处理，将滤饼含水量控制在0.3%以下；最后将干燥后的碳化硅送入分选机中，去除碳粉、金属氧化物、硅粉和5微米以下的碳化硅颗粒，即得碳化硅成品。