[发明专利]一种硅片切割废砂浆回收方法

权利要求书

1.一种硅片切割废砂浆回收方法，其特征在于包括如下步骤：

步骤一、预处理：

按原浆与水体积比2：3～5的比例进行有效均匀搅拌，然后采用压滤机进行固液分离；

步骤二、聚乙二醇的回收：

将步骤一固液分离后得到的液体输送到去粒子压滤机，循环压滤10—15分钟；然后将所得滤液输送到滤布上涂有活性碳的压滤机中进行脱色压滤，温度控制在50—80℃，循环10—15分钟；脱色后的滤液先经过袋式过滤器，过滤除去小颗粒，之后液体输送至阴阳离子交换器去除阴阳离子，液体PH值控制在8—10；最后将经过离子交换的液体进行四效蒸馏，将水分控制在0.5%以下，冷却得到聚乙二醇成品；

步骤三、碳化硅的回收：

一级压滤：步骤一对配比搅匀的砂浆采用压滤机进行固液分离，然后泵入清水对留在压滤机中的滤饼进行三次洗涤压榨，接着对滤饼进行吹气，完成一级压滤的一压，然后卸下滤饼与水按体积比2：3～5的比例配合，搅拌形成浆料，输送至压滤机进行一级压滤的二压，重复一压中的压滤、三次清水洗涤压榨、吹气步骤，完成一级压滤的二压，将滤饼含水量控制在2%以下；接着进行二级压滤：将一级压滤二压后的滤饼与水按体积比2：3～5的比例配合，搅拌形成浆料，送入压滤机，重复一级压滤步骤，经过二级压滤二压后的滤饼含水量控制在2%以下；然后将经过二级压滤的滤饼进行干燥处理，将滤饼含水量控制在0.3%以下；最后将干燥后的碳化硅送入分选机中，去除碳粉、金属氧化物、硅粉和5微米以下的碳化硅颗粒，即得碳化硅成品。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割废砂浆回收方法，其特征在于：所述步骤二中的去粒子压滤机的滤板为增强聚丙烯材质，进料压力≤1.0Mpa；隔膜型式为聚丙烯整体结构，压力为0.7～0.9Mpa。

3.根据权利要求1或2所述的一种片切割废砂浆回收方法，其特征在于：所述步骤二中脱色后的滤液在1-2小时之内进入离子交换系统。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割废砂浆回收方法，其特征在于：所述步骤三中的一级压滤和二级压滤中，隔膜型式为聚丙烯整体结构，压力为0.7～0.9Mpa。

5.根据权利要求1或4所述的一种硅片切割废砂浆回收方法，其特征在于：所述步骤三中分选机开机前必须关闭风门，开机后逐渐打开，使电机电流控制在72—80A。