[发明专利]形成模板的衬底以及检测方法在审
| 申请号： | 201210088083.5 | 申请日： | 2012-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102636953A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 原田大实;竹内正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125-300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 模板 衬底 以及 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种圆形的形成模板的衬底，具有要在其上形成拓扑图案的表面，并且具有125mm至300mm的直径以及一定厚度，其中在直径为至多125mm的圆内，衬底的厚度具有至多2μm的变化。
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