[发明专利]一种提高太阳能电池效率的扩散工艺

摘要

本发明公开了一种提高太阳能电池效率的扩散工艺，包括以下步骤：低温预氧化；低温预扩散，扩散温度为800-840oC，时间为10-50分钟；通氧再分布；再较高温度进行推进，切断携带磷源的氮气、氧气将温度升至820-860oC之间，保持一段时间，时间为10-40分钟,降温至600-700oC，降温速度为1oC/min-10oC/min，进行退火，时间为60-120分钟。这种提高太阳能电池效率的扩散工艺可以增强扩散步骤中磷吸杂的效果，提高硅片的少子寿命。

主权项

一种提高太阳能电池效率的扩散工艺，其特征是，包括以下步骤：（1） 使用常规工艺对硅片进行表面织构，清洗和干燥；（2） 在一定温度下将步骤（1）所得硅片放入扩散炉中，通入氮气；（3） 低温预氧化：将扩散炉进行升温，通入氧气，时间为3‑10分钟；（4） 预扩散：在一定温度下，通入携带POCl3的氮气，时间为10‑40分钟，进行预扩散；（5） 通氧再分布：在一定温度下，停止通入携带POCl3的氮气，通入氧气，时间是5‑10分钟；（6） 高温推进扩散：切断氮气、氧气，将扩散温度提升，稳定一段时间，时间为10‑40分钟；（7） 低温退火：将温度降低，通入氮气,保持60‑120分钟；（8） 扩散完毕，将硅片取出。