[发明专利]一种用飞秒激光脉冲序列对透明介质内部加工的方法无效
| 申请号： | 201210084740.9 | 申请日： | 2012-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN102601521A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;刘鹏军;徐传彩;冷妮 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用飞秒激光脉冲序列对透明介质内部加工的方法，属于飞秒激光应用技术领域。首先利用飞秒激光系统1产生飞秒脉冲激光，利用半波片2和偏振片3的组合调整能量，通过脉冲整形器5把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列；然后把步骤一所得到的脉冲序列激光通过反射镜8反射到物镜9中聚焦，借助CCD 7和照明光源12成像，移动6维精密电控平台11，使激光焦点位于水平放置的样品10内部；最后用计算机控制6维精密电控平台11运动，即可在样品10内部进行加工。本发明中通过脉冲整形器把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列，在相同的激光能量下，该方法与传统飞秒激光加工方法相比，可以聚焦到材料内部更深处进行加工改性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用飞秒 激光 脉冲 序列 透明 介质 内部 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种用飞秒激光脉冲序列对透明介质内部加工的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一：利用飞秒激光系统1产生飞秒脉冲激光，利用半波片2和偏振片3的组合调整能量，通过脉冲整形器5把飞秒激光调制为飞秒间隔的脉冲序列；步骤二：把步骤一所得到的脉冲序列激光通过反射镜8反射到物镜9中聚焦，借助CCD 7和照明光源12成像，移动6维精密电控平台11，使激光焦点位于水平放置的样品10内部；步骤三：用计算机控制6维精密电控平台11运动，即可在样品10内部进行加工。
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