[发明专利]用于生产层压主体的设备有效
申请号: | 201210083679.6 | 申请日: | 2012-03-22 |
公开(公告)号: | CN102693847A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 早川宗孝;伊藤薰;高桥康彦 | 申请(专利权)人: | 小岛冲压工业株式会社 |
主分类号: | H01G13/00 | 分类号: | H01G13/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 苏娟;朱利晓 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及用于生产层压主体的设备。具体地,本发明提供一种可稳定地生产包括在膜状基材上具有预定成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜的层压主体的设备。该设备包括:膜状基材供应装置(46),其将膜状基材(15)供应到真空室(24)中的转动鼓(35)的外周表面上;多个吹出构件(64),其围绕转动鼓(35)定位,多个吹出构件的每个包括在真空室(24)内侧开放至转动鼓(35)的所述外周表面的蒸汽出口(66)和构成沉积室的内部空间;以及至少一个单体蒸汽供应装置(48),其布置成将多种单体蒸汽供应到沉积室中并将多种单体蒸汽从多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。 | ||
搜索关键词: | 用于 生产 层压 主体 设备 | ||
【主权项】:
一种用于生产层压主体的设备,所述层压主体包括膜状基材和通过真空沉积聚合沉积在所述膜状基材上的至少一个蒸汽沉积聚合膜,所述设备包括:真空室;排放装置,其将空气从所述真空室排放以使所述真空室形成真空状态;转动鼓,其可转动地设置在所述真空室中,所述转动鼓具有外周表面,该外周表面上设置与其接触的所述膜状基材,由此允许所述膜状基材随着所述转动鼓的转动而在周向方向上行进;膜状基材供应装置,其将所述膜状基材供应到所述转动鼓的所述外周表面上;多个吹出构件,其围绕所述转动鼓定位以在所述周向方向上彼此排列,所述多个吹出构件的每个包括在所述真空室内侧开放至所述转动鼓的所述外周表面的蒸汽出口和通过覆盖壁限定的内部空间;多个沉积室,所述多个沉积室均由所述多个吹出构件的每个的内部空间的部分构成并定位在所述真空室内侧;和至少一个单体蒸汽供应装置,其包括:通过加热和蒸发多种材料单体生成多种单体蒸汽的多个蒸发源;和与所述多个沉积室的每个连通的多个连通通道,所述至少一个单体蒸汽供应装置布置成通过所述多个连通通道向所述多个沉积室的每个中供应在所述多个蒸发源中生成的所述多种单体蒸汽,由此所述多种单体蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。
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