[发明专利]用于生产层压主体的设备

说明书

本申请基于2011年3月23日提交的日本专利申请No.2011-063462，该日本申请的内容通过引用结合在此。

技术领域

本发明涉及用于生产层压主体的设备，更具体地涉及用于生产层压主体的设备的改进，所述层压主体包括膜状基材和通过真空沉积聚合沉积在膜状基材上的至少一个蒸汽沉积聚合膜。

背景技术

传统上，出于多种目的使用包括诸如树脂膜的膜状基材和通过真空沉积聚合形成在膜状基材上的蒸汽沉积聚合膜的层压主体。例如，层压主体用作气体屏障膜，以便防止氧气或者水蒸汽的渗透，或者用作有机电致发光单元。此外，近来考虑到使用包括金属化膜和金属化膜上的蒸汽沉积聚合膜的堆叠膜作为薄膜电容器元件。

具有多种类型的设备作为用于生产这种层压主体的设备，其中一个例子例如显示在JP-A-2001-261867中。JP-A-2001-261867中公开的设备在其真空室中包括转动鼓(其中称为冷却和涂覆辊)、将膜状基材(其中称为基材膜)供应到转动鼓的外周表面上的供给辊、以及一对各自加热和蒸发不同种类材料单体的蒸发源。该设备被布置成通过以下方式在膜状基材上形成蒸汽沉积聚合膜，即，使用两个蒸发源蒸发材料单体并使两种蒸汽单体聚合在膜状基材上，同时从供给辊展开并被发送到转动鼓外周表面的膜状基材随同转动鼓的转动而在转动鼓的周向方向行进。这种用于生产层压主体的设备能够以连续工艺批量生产想要的层压主体。

但是，在上面描述的传统设备中，整个真空室构成沉积室。此外，只有一对均包含不同种类材料单体的蒸发源设置在真空室中，两种单体蒸汽只通过该对蒸发源供应到膜状基材上。因此，真空室中压力的改变(真空度的改变)以及由相应蒸发源中剩余的材料单体量和加热温度的改变造成的材料单体的蒸发速度(单体蒸汽的蒸汽压力)的改变直接影响蒸汽沉积聚合膜的成分和沉积速度(蒸汽沉积聚合膜的形成速度)。结果，生产的层压主体的蒸汽沉积聚合膜具有变化的成分和变化的厚度。

在通过使用传统设备在膜状基材上形成厚的蒸汽沉积聚合膜时，每个蒸发源中的材料单体的蒸发速度必须增加。然而，在这种情况下，很难控制蒸发源中的材料单体的加热温度。此外，随着单体蒸汽的蒸汽压力变高，蒸发源的部件的耐压性必须增加，从而导致成本增加的问题。

此外，在通过上面描述的传统设备在膜状基材上形成多种蒸汽沉积聚合膜时，必须使蒸汽沉积聚合操作重复与蒸汽沉积聚合膜的种类数相同的次数，非常麻烦。

JP-A-2008-287996公开了一种用于生产层压主体的设备，其包括两组蒸发源，每组都包含不同种类的材料单体。但是，由于两组蒸发源之间的相互干扰，该设备在保持两组蒸发源生成的每种单体蒸汽的希望蒸汽压力方面具有困难。

发明内容

考虑到上面的情况做出本发明，本发明的目的在于提供一种设备，其能够稳定地生产包括在膜状基材上具有预定成分和厚度的蒸汽沉积聚合膜的层压主体，并且能够进一步容易有效地生产包括厚蒸汽沉积聚合膜或多种蒸汽沉积聚合膜的层压主体。

为了实现上述目的，或者为了解决通过本说明书和附图的描述理解的问题，本发明可优选根据下文描述的多个方面实施。下面描述的每个方面可以任何组合采用。应当理解，本发明的方面和技术特征不局限于下面描述的那些，而是可根据整个说明书和附图公开的发明构思认识。

(1)一种用于生产层压主体的设备，所述层压主体包括膜状基材和通过真空沉积聚合沉积在所述膜状基材上的至少一个蒸汽沉积聚合膜，所述设备包括：(a)真空室；(b)排放装置，其将空气从所述真空室排放以使真空室形成真空状态；(c)转动鼓，其可转动地设置在所述真空室中，所述转动鼓具有外周表面，该外周表面上设置与其接触的所述膜状基材，由此允许所述膜状基材随着所述转动鼓的转动而在周向方向上行进；(d)膜状基材供应装置，其将所述膜状基材供应到所述转动鼓的所述外周表面上；(e)多个吹出构件，其围绕所述转动鼓定位以在所述周向方向上彼此排列，所述多个吹出构件的每个包括在所述真空室内侧开放至所述转动鼓的所述外周表面的蒸汽出口和通过覆盖壁限定的内部空间；(f)多个沉积室，所述多个沉积室均由所述多个吹出构件的每个的内部空间的部分构成并定位在所述真空室内侧；和(g)至少一个单体蒸汽供应装置，其包括：通过加热和蒸发多种材料单体生成多种单体蒸汽的多个蒸发源；和与所述多个沉积室的每个连通的多个连通通道，所述至少一个单体蒸汽供应装置布置成通过所述多个连通通道向所述多个沉积室的每个中供应在所述多个蒸发源中生成的所述多种单体蒸汽，由此所述多种单体蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。