[发明专利]用于生产层压主体的设备

权利要求书

1.一种用于生产层压主体的设备，所述层压主体包括膜状基材和通过真空沉积聚合沉积在所述膜状基材上的至少一个蒸汽沉积聚合膜，所述设备包括：

真空室；

排放装置，其将空气从所述真空室排放以使所述真空室形成真空状态；

转动鼓，其可转动地设置在所述真空室中，所述转动鼓具有外周表面，该外周表面上设置与其接触的所述膜状基材，由此允许所述膜状基材随着所述转动鼓的转动而在周向方向上行进；

膜状基材供应装置，其将所述膜状基材供应到所述转动鼓的所述外周表面上；

多个吹出构件，其围绕所述转动鼓定位以在所述周向方向上彼此排列，所述多个吹出构件的每个包括在所述真空室内侧开放至所述转动鼓的所述外周表面的蒸汽出口和通过覆盖壁限定的内部空间；

多个沉积室，所述多个沉积室均由所述多个吹出构件的每个的内部空间的部分构成并定位在所述真空室内侧；和

至少一个单体蒸汽供应装置，其包括：通过加热和蒸发多种材料单体生成多种单体蒸汽的多个蒸发源；和与所述多个沉积室的每个连通的多个连通通道，所述至少一个单体蒸汽供应装置布置成通过所述多个连通通道向所述多个沉积室的每个中供应在所述多个蒸发源中生成的所述多种单体蒸汽，由此所述多种单体蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，通过使用所述多个吹出构件的至少两个形成一个蒸汽沉积聚合膜。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个吹出构件的每个包括用于部分屏蔽所述膜状基材的屏蔽构件，所述屏蔽构件设置在所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口处以在所述转动鼓的周向上跨过所述蒸汽出口延伸，由此防止从所述蒸汽出口吹出的所述多种单体蒸汽附着到所述膜状基材的通过所述屏蔽构件屏蔽的部分。

4.根据权利要求1所述的设备，还包括对所述膜状基材充电的充电装置，所述充电装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最上游侧处的一个吹出构件的上游侧。

5.根据权利要求4所述的设备，还包括对由所述充电装置充电的膜状基材进行中和的中和装置，所述中和装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最下游侧处的一个吹出构件的下游侧。

6.根据权利要求1所述的设备，还包括对形成在所述膜状基材上的蒸汽沉积聚合膜进行硬化的硬化装置，所述硬化装置设置在所述多个吹出构件的定位在所述转动鼓上的膜状基材的驱动方向上的最下游侧处的一个吹出构件的下游侧。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材的厚度为5μm或更小。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口和所述转动鼓的外周表面之间的距离为5mm或更小。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述至少一个蒸汽沉积聚合膜的厚度为10μm或更小。

10.根据权利要求1所述的设备，还包括金属蒸汽供应装置，该金属蒸汽供应装置包括通过加热和蒸发金属沉积材料生成金属蒸汽的蒸发源和与所述沉积室连通的连通通道，所述金属蒸汽供应装置布置成通过所述连通通道向所述沉积室供应所述蒸发源中生成的金属蒸汽，由此所述金属蒸汽从所述多个吹出构件的每个的蒸汽出口吹出。

11.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材包括金属化膜，该金属化膜包括聚丙烯基双轴向拉伸膜和形成在所述聚丙烯基双轴向拉伸膜的至少一个表面上的金属沉积膜。

12.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材包括金属化膜，该金属化膜包括聚对苯二甲酸乙二醇酯基双轴向拉伸膜和形成在所述聚对苯二甲酸乙二醇酯基双轴向拉伸膜的至少一个表面上的金属沉积膜。

13.根据权利要求1所述的设备，其中，所述膜状基材供应装置包括供给装置，该供给装置布置成通过将所述膜状基材从所述膜状基材的卷筒展开而将所述膜状基材供应到所述转动鼓的外周表面上。

14.根据权利要求12所述的设备，其中，至少一个分隔壁设置在所述真空室中，使得所述真空室被分成其中设置所述供给装置的第一部分和其中设置所述多个吹出构件的第二部分，由此允许独立地改变每个所述部分的内部压力。

15.根据权利要求1所述的设备，其中，至少一个单体蒸汽供应装置包括多个单体蒸汽供应装置且所述膜状基材供应装置包括所述多个单体蒸汽供应装置的至少一个，从所述多个单体蒸汽供应装置的至少一个供应到所述多个沉积室的至少一个中并从所述蒸汽出口吹出的所述多种单体蒸汽聚合在所述转动鼓的所述外周表面上，由此在所述转动鼓的外周表面上形成包括蒸汽沉积聚合膜基材的膜状基材。